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一种LED 晶粒焦点BIN产品整片抽测方法

2019-11-26 16:00

手艺领域

        本发明关于一种LED 晶粒焦点BIN产品整片抽测方法(各电性、光学特征磨练),该系统中突破惯性头脑的先翻膜后分片的抽测要领,接纳先整片抽测晶圆后翻膜分片矩阵抽测的工艺要领。

配景手艺

        在LED晶圆完因素类挑拣成为某一电性光学品级的制品后,会先使用点测装备对制品晶粒举行抽测,以便确保各晶粒的电性、光学特征是与分类挑选的要求一致,同时是包管产品出货的品质。

        然而,现在焦点BIN产品现有的抽测磨练实验方法是:先将焦点BIN翻膜分片,再由点测装备对LED制品所有晶粒举行坐标全扫描,最后举行矩阵抽测。现我司焦点BIN产品分为三片后抽测,以是一张4寸焦点BIN产品要做三次全扫描+矩阵抽测(图1),扫描时间和上下片时间耗时较长。

 

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图1


        而这种做3次全扫描+矩阵抽测的方法,扫描的时间占了机台运行的大部分时间,而真正点测的时间现实很少,造效果率低下。因此,若能够将晶粒扫描次数变少,将上下片时间降到最低,同时亦可节约抽测机台装备,即镌汰制造本钱和人力本钱,为最佳解决计划。

发明内容

        本发明的目的即在于提供一种LED制品晶粒抽测的新方法,分选下机后整片抽测晶圆系统付与各子片抽测信息,能够将抽测扫描时间和上下片时间缩短。     
 

        本发明所提供的一种 LED制品电性参数抽测的运作要领,与变换前工艺要领更具优势:
       

        首先,所述的LED 晶粒焦点BIN产品整片抽测方法,是全新的抽测方法,突破先分片翻膜后抽测的惯性头脑,刷新为在字母环上抽测后分片。

        其次,所述的LED晶粒焦点BIN产品整片抽测方法,有用降低抽测扫描时间、上下片时间和一律产能下可节约装备台数的优势,生产效率可大幅度提高 ;节约机台&职员本钱。

        最后,此工艺运作要领,LED 制品的抽测异常追诉准确度大大提高,漏出率极低。

 

附图说明

        为了更清晰地说明本发明实验例或现有手艺中的手艺计划,下面将对实验例或现有手艺形貌中所需要使用的附图作简朴地先容,显而易看法,下面形貌中的附图是本发明的一些实验例,关于本事域通俗手艺职员来讲,在不支付创立性劳动的条件下,还可以凭证这些附图获得其他的附图。

        图2是本发明实验焦点BIN产品整片抽测扫描和测试的显示图:

       如图所示,本发明可实现整片扫描,矩阵电性测试,有用降低抽测上下片时间和扫描时间。

 

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图2

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